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::: 可授權專利

透明導電薄膜及其製造方法TRANSPARENT CONDUCTIVE THIN FILM AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF

創作型式：
專利證號：
I297361
發明人：
吳昌謀 WU, CHANG MOU林三我 LIN, SAN WO林振松 LIN, JENN SONG廖光陽 LIAO, KUANG YANG孫泰農 SUN, TAI NONG張安士 CHANG, AN SHYH
國別：
中華民國
獲證日期：
20080601
專利摘要：
一種透明導電薄膜及其製造方法,其中的方法係藉由一間歇式低溫濺鍍製程於一可撓性透明基材上沉積一透明導電薄膜,而所得透明導電薄膜為非晶質氧化銦錫薄膜,且所得片電阻較傳統連續式製程所得為低。
IPC國際分類號：
C23C-014/12(2006.01);(IPC 1-7) : C23C-014/12