具有溫度與振動補償之角速率感測裝置
發明人：
羅淵 LO, YUAN林隆湧 LIN, LUNG YUNG許覺良 HSU, CHAUG LIANG曾志偉 TSENG, CHIH WEI
專利摘要：
一種具有溫度與振動補償之角速率感測裝置，包括有包括有一基座；一多質量塊振動體，設置於基座中；複數個柔性支撐部，連接於多質量塊振動體並支撐振動體於基座上，以使振動體浮懸於基座中；以及複數個平面電極，與質量塊相對應地配置，並與兩信號線相接，兩信號線之相位差為180度，藉由平面電極與質量塊之間的電容變化量以感測質量塊相對於平面電極之移動量。其中平面電極之一信號線與另一組相角差異0度、配置位置差異180度之信號線相連接以補償振動所造成的誤差，與另一組相角差異180度、配置位置差異90度之信號線相連接以補償熱膨脹所造成的誤差。
IPC國際分類號：
G01P-003/44(2006.01);G01C-019/56(2012.01);(IPC 1-7) : G01P-003/44;G01C-019/56