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::: 可授權專利

壓電式低應力拋光裝置THE LOW-STRESS POLISHING APPARATUS WITH PIEZOELECTRIC ACTUATOR

創作型式：
專利證號：
I270131
發明人：
范陽鑑 FANN, YANG JIANN鄭友仁 JENG, YEAU REN蔡孟勳 TSAI, MENG SHIUN潘文玨 PAN, WEN CHUEH賴哲雄 LAI, JER SHYONG
國別：
中華民國
獲證日期：
20070101
專利摘要：
一種壓電式低應力拋光裝置，包括一振動板、多個壓電元件、多個驅動電路以及一研磨墊。其中，振動板具有第一表面以及第二表面，而壓電元件係配置於第一表面，且其中兩個壓電元件係位於振動板的相對兩側。此外，驅動電路分別與其所對應的壓電元件電性連接，且驅動電路適於提供其所對應之壓電元件一電壓，使壓電元件變形因而帶動振動板產生一振動。另外，研磨墊係配置於振動板之第二表面。
IPC國際分類號：
H01L-021/302(2006.01)