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::: 可授權專利

角速率感測裝置之製造方法FABRICATING METHOD OF ANGULAR RATE SENDING DEVICE

創作型式：
專利證號：
I266055
發明人：
羅淵 LO, YUAN張新安 CHANG, HSIN AN林隆湧 LIN, LUNG YUNG簡學斌 CHIEN, SYWE PIN賀克勤 HO, KYE CHYN
國別：
中華民國
獲證日期：
20061111
專利摘要：
一種角速率感測裝置之製造方法，包括有提供一絕緣層上矽晶圓、一第一玻璃晶圓、與一第二玻璃晶圓；於第一玻璃晶圓上形成複數個凹槽；接合絕緣層上矽晶圓與第一玻璃晶圓；蝕刻絕緣層上矽晶圓之載板與絕緣層，留下結構晶圓；於此結構晶圓上，形成一結構層，其中結構層包括有一多質量塊振動體與複數個柔性支撐部，複數個柔性支撐部連接於多質量塊振動體並支撐振動體於凹槽中；於第二玻璃晶圓上形成複數個平面電極以及相對應之電路；以及接合第二玻璃晶圓與接合有第一玻璃晶圓之結構層。
IPC國際分類號：
G01P-003/14(2006.01);G01C-019/56(2012.01);(IPC 1-7) : G01P-003/14;G01C-019/56