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::: 可授權專利

一種補償式化學機械研磨機平坦化的方法及裝置

創作型式：
專利證號：
136239
發明人：
潘文玨賴哲雄何建誠許覺良范陽鑑王鎰興
國別：
中華民國
獲證日期：
20010616
專利摘要：
本發明提供一種補償式化學機械研磨機平坦化的方法及裝置，本發明使用一個或多個研磨墊載體，於平坦化製程中,對晶圓施壓作為補償性研磨，以解決研磨過程中之凹陷(Dishing)或磨蝕(Erosion)的情況，並此具補償作用的裝置可與主研磨裝置同時運作，減少所研磨晶圓之非均勻性，並實現平坦化的目地;再者，本創作所提供之多研磨載體，更可達成減少機台面積，降低操作成本。
IPC國際分類號：
B24B-007/24(2006.01);B24B-037/04(2006.01);H01L-021/304(2006.01);(IPC 1-7) : B24B-007/24;B24B-037/04;H01L-021/304