負壓式氣動微幫浦
發明人：
呂仁智 LU, JEN CHIH陳全智 CHEN, CHUAN CHIH闕振庚 CHUECH, S. G.嚴明明 YAN, MING MING
專利摘要：
本發明關於一種負壓式氣動微幫浦,其包含設於一矽晶圓片之一驅動氣體噴嘴,驅動氣體噴嘴具有一入口與一出口;入口連接一驅動氣體導入口;驅動氣體噴嘴之兩側分別設置一第一幫浦流體吸入口與一第二幫浦流體吸入口;一第一牽引流道之兩端分別連接第一幫浦流體吸入口與驅動氣體噴嘴之第一側;第二牽引流道其兩端分別連接第二幫浦流體吸入口與驅動氣體噴嘴之第二側;一漸擴排放流道之第一端與出口相連接並與第一牽引流道及第二牽引流道之第二端相連接並導通。如此可使本發明第一幫浦流體吸入口與第二幫浦流體吸入口汲取欲幫浦之流體。
IPC國際分類號：
B81B-001/00(2006.01);F04F-005/14(2006.01)