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::: 可授權專利

光阻上施行噴灑式化學鎳的方法

創作型式：
專利證號：
122515
發明人：
許文榮孫炳欽黃建和吳憲明
國別：
中華民國
獲證日期：
20000911
專利摘要：
本發明係利用噴灑溶液於光阻表面的方式，不必浸泡工件於溶液中，在常溫下於光阻上進行化學鎳製程的方法。此發明提供新潁的化學鎳製程，包括溶液組成與操作方法，可獲取光滑的均勻鎳鍍層，具有簡便而經濟的優點，避免傳統化學鎳製程中所需要之種類多而體積又大的作業槽，同時也提供一種新穎的導電層批覆之方法。
IPC國際分類號：
C23C-018/08(2006.01);(IPC 1-7) : C23C-018/08