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::: 可授權專利

鋁及鋁合金濺鍍靶材及其製造方法METHOD OF MANUFACTURING AL AND AL ALLOY SPUTTERING TARGET

創作型式：
專利證號：
I296286
發明人：
童山 TORNG, SHAN楊春欽 YOUNG, CHUNE CHING陳仕穎 CHEN, SHIH YING許博淳 HSU, PO CHUN彭佳祥 PENG, CHIA HSIANG曾繁春 TSENG, FAN CHUN羅仁安 LUO, REN AN
國別：
中華民國
獲證日期：
20080501
專利摘要：
本發明係一種濺鍍靶材及其製造方法，該濺鍍靶材製造方法係利用直接冷激澆鑄(Direct-Chill Casting)方式，製作各種鋁及鋁合金鑄錠，所得鋁合金鑄錠在不經後續之鍛造加工情形下，直接切削後即可獲得所需之鋁及鋁合金濺鍍靶材，具有加工程序少、量產性高、成品率高之優點，且該靶材成品晶粒小、析出物微細且成份均質。
IPC國際分類號：
C23C-014/34(2006.01)