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::: 可授權專利

產生奈米結構之方法及其所製造的奈米結構

創作型式：
發明
專利證號：
TWI253973
發明人：
許晉睿、黃繼震、張欽宗、許覺良、謝念中
國別：
中華民國
獲證日期：
2004/10/29
專利摘要：
本發明提供產生奈米結構之方法及其所製造的奈米結構，其方法係利用一種具有微探針及其相對基材的操作平台。當微探針與基材之表面距離逐漸接近至奈米尺度時，由於分子間吸引力及表面力之影響，使得探針與基材間產生跳躍接觸及黏滯現象，而黏滯力進一步導致探針與基材表面的原子產生遷移。當探針與基材分離時，即可在探針與基材之表面間產生奈米結構，必要時微探針可以用微管取代。
IPC國際分類號：
B25J000700