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::: 可授權專利

PIN二極體及其製造方法

創作型式:
發明
專利證號:
TWI251937
發明人:
蕭豐格、陳元在、余信賢、林敏、何焱騰
國別:
中華民國
獲證日期:
2004/12/08
專利摘要:
一種PIN二極體的製造方法,首先提供一晶片,此晶片具有一正面與一背面,並於晶片的正面形成一第一導電態層。接著,提供一承載晶片,並與晶片的正面黏合。之後,研磨晶片的背面,以縮減晶片的厚度,並於晶片的背面形成一第二導電態層,並以此結構進行二極體製程。最後,去除承載晶片,以形成由第一導電態層、研磨過的晶片與第二導電態層組成的PIN二極體,簡化了習知PIN二極體的製程,並提高生產效率及良率。
IPC國際分類號:
H01L0029868