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::: 可授權專利

角速率感測裝置之製造方法

創作型式：
發明
專利證號：
TWI266055
發明人：
羅淵、林隆湧、賀克勤、張新安、簡學斌
國別：
中華民國
獲證日期：
2005/11/11
專利摘要：
一種角速率感測裝置之製造方法，包括有提供一絕緣層上矽晶圓、一第一玻璃晶圓、與一第二玻璃晶圓；於第一玻璃晶圓上形成複數個凹槽；接合絕緣層上矽晶圓與第一玻璃晶圓；蝕刻絕緣層上矽晶圓之載板與絕緣層，留下結構晶圓；於此結構晶圓上，形成一結構層，其中結構層包括有一多質量塊振動體與複數個柔性支撐部，複數個柔性支撐部連接於多質量塊振動體並支撐振動體於凹槽中；於第二玻璃晶圓上形成複數個平面電極以及相對應之電路；以及接合第二玻璃晶圓與接合有第一玻璃晶圓之結構層。
IPC國際分類號：
G01C001956