專利摘要:
一種微型陀螺儀,包括基座、振動主體、多個驅動電極以及多個感測電極。振動主體是由多個振動環所構成,並配置於基座上方。這些振動環彼此相鄰排列成對稱圖案。而且,以此對稱圖案之幾何中心為參考點來說,相鄰之振動環的幾何中心相距。驅動電極是配置於基座上,用以驅動振動環產生變形,而使振動主體具有一驅動形變。另一方面,這些振動環亦會依據其所受之科氏力而產生變形,而使振動主體具有一感應形變。其中,振動主體之驅動形變的方向與感應形變的方向相差。此外,感測電極是配置於該基座上,用以感測該振動主體之感應形變。