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::: 可授權專利

紅外線熱影像陣列模組驗證架構與製造方法

創作型式:
發明
專利證號:
TWI360881
發明人:
施志昌、楊三德、湯相峰、羅俊傑、高耀堂、翁炳國、江建德
國別:
中華民國
獲證日期:
2006/10/27
專利摘要:
本發明關於紅外線熱影像陣列模組驗證架構,其包含一熱像模組規格設計、磊晶與光學物性驗證,先進行磊晶參數校正;一單乙型感測元件製程與變溫光電量測驗證,磊晶完成感測元件,以低溫變溫與變壓量測校正;一焦平面陣列感測元件製程與光電均勻度驗證,進行暗電流均勻度測試;一焦平面陣列與訊號讀出積體電路貼合與磨薄製程驗證,將感測模組與訊號讀出積體電路進行銦貼合轉換光電訊號;一熱影像品質整合測試驗證,調制最佳驅動與控制輸出參數分析品質與測定;一熱影像感測陣列模組雛型完成,利用銦貼合與焦平面陣列接合,完成影像感測陣列模組雛型。
IPC國際分類號:
G01R003100