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::: 可授權專利

透明導電薄膜及其製造方法

創作型式：
發明
專利證號：
TWI297361
發明人：
廖光陽、張安士、孫泰農、林三我、吳昌謀、林振松
國別：
中華民國
獲證日期：
2004/04/26
專利摘要：
一種透明導電薄膜及其製造方法，其中的方法係藉由一間歇式低溫濺鍍製程於一可撓性透明基材上沉積一透明導電薄膜，而所得透明導電薄膜為非晶質氧化銦錫薄膜，且所得片電阻較傳統連續式製程所得為低。
IPC國際分類號：
C23C001412