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::: 可授權專利

P型氧化鋅薄膜的製作方法

創作型式：
發明
專利證號：
TWI447820
發明人：
陳世偉、薄慧雲、吳振名、曹鈞涵、魏肇男、楊東翰
國別：
中華民國
獲證日期：
2010/12/27
專利摘要：
本發明係一種P型氧化鋅薄膜的製作方法，其特點係同時使用含鋅、鋁、鎂之氧化物靶材及鋅金屬靶材，利用磁控射頻濺鍍裝置，鍍製氣氛為氬氣與氮氣混合氣體，直接鍍製成P型氧化鋅薄膜，可有效減少製程的繁複性與提升其薄膜電性性質。
IPC國際分類號：
C23C001434