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::: 可授權專利

坩堝CRUCIBLE

創作型式:
發明
專利證號:
TWI461578
發明人:
馬代良、熊治勇、彭超群
國別:
中華民國
獲證日期:
2012/04/06
專利摘要:
一種坩堝,用於使一晶種藉由一材料源以長晶,該坩堝包括一成長室、一固持器、一反射裝置以及複數氣體導向裝置。固持器位於成長室之上方,用以固定晶種。反射裝置位於固持器之周圍。複數氣體導向裝置位於成長室之下方,用以容納材料源並引導氣化之材料源。
IPC國際分類號:
C30B002508