*

::: 可授權專利

尖晶石鎳鈷氧化物靶材之製造方法

創作型式：
發明
專利證號：
TWI476291
發明人：
伍員鵬、倪國裕、魏肇男、薄慧雲、方冠榮
國別：
中華民國
獲證日期：
2012/12/17
專利摘要：
本發明係為一種尖晶石鎳鈷氧化物靶材之製造方法，係藉由尖晶石鎳鈷氧化物(NiCo 2 O4 )添加鹼金屬離子，係藉由鹼金屬離子之助熔特性，改善靶材的緻密性，因此添加鹼金屬離子，可達到靶材燒結緻密性的提升效果，製備出高緻密化之靶材材料。
IPC國際分類號：
C23C001434