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::: 可授權專利

可拆卸晶圓固定裝置DETACHABLE WAFER FIXING DEVICE

創作型式：
新型
專利證號：
TWM505694
發明人：
江瑞軒、鄭欣彥、趙令詩、葉東昇、蔡明義、王聖閔
國別：
中華民國
獲證日期：
2014/12/10
專利摘要：
本新型提供一種可拆卸晶圓固定裝置，其係可拆卸地安裝於一晶圓製程機台，可拆卸晶圓固定裝置包含一底盤以及一真空開關閥，底盤中心具有一穿孔。真空開關閥對應穿孔設於底盤，真空開關閥內部與穿孔連通形成一空間，真空開關閥控制空間為一真空狀態或一大氣狀態，用以吸附或釋放一晶圓。藉此，可節省真空系統的成本花費。
IPC國際分類號：
H01L002167