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::: 可授權專利

均勻熱處理裝置

創作型式：
新型
專利證號：
TWM504353
發明人：
陳燦桐、王興建、潘文玨、韋士珊
國別：
中華民國
獲證日期：
2014/10/28
專利摘要：
本創作係提供一種均勻熱處理裝置，係藉由加熱裝置與基板間的二維方向往復移動，改善太陽能電池卷對卷熱處理製程中，燈泡式加熱裝置加熱不均勻之缺點，可使輻射熱通量均勻化，提高產品良率。
IPC國際分類號：
H01L0031024