專利摘要：
本發明係關於一種軟性太陽能電池光吸收層之真空製程設備及其製造方法，係將加熱板、冷卻系統、硒蒸氣蒸鍍模組、銦鎵銦線性蒸鍍模組與銅線性蒸鍍模組整合於一真空腔體之中，並配合一放捲模組、一速度主控輪組與一收捲模組，以自動化流程於一真空環境中將銅銦鎵硒太陽能光吸收層製備於一軟性基板之上；藉此方式節省太陽能電池光吸收層之製程設備的機台配置空間，並有效地節省生產之時間成本。此外，於本發明之中，又加以整合膜厚量測模組與機電控制模組，如此，於自動化的製程過程中，操作人員可透過機電控制模組即時地監控太陽能電池光吸收層之厚度及其化合物組成，有利於製程良率之提升。