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::: 可授權專利

高純度碳化物模具之製作方法

創作型式：
發明
專利證號：
TWI571520
發明人：
馬代良、黃俊彬、虞邦英、彭超群、陳學儀
國別：
中華民國
獲證日期：
2015/03/06
專利摘要：
本發明係提供一種高純度碳化物模具之製作方法，包含以下步驟：(A)提供一模板；(B)將該模板置入一成長腔體中；(C)將碳化物原料置於該成長腔體中；(D)提供熱場；(E)通入氣體；(F)沉積碳化物原料；以及(G)移除模板。本發明之高純度碳化物模具之製作方法，可製得由純度大於93%以上之高純度碳化物所構成的模具，有效改善傳統上碳化物模具硬度較低且純度較差之問題。
IPC國際分類號：
C23C001406