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::: 可授權專利

一種光子晶體之製備方法

創作型式:
發明
專利證號:
TWI571430
發明人:
虞邦英、馬代良、李大青、林柏丞
國別:
中華民國
獲證日期:
2015/12/07
專利摘要:
本發明係提供一種光子晶體之製備方法,包含:步驟1:取一晶種,於該晶種之一面進行蝕刻,以形成表面具有次微米空隙的晶種;步驟2:取一石墨盤,於該石墨盤之一面塗佈石墨膠,藉由該石墨膠將該晶種具有次微米空隙的一面貼附於該石墨盤,以形成一晶種座;步驟3:將該晶種座置於一成長室的上方,將原料置於至於該成長室的下方;步驟4:藉由一加熱裝置使該成長室內部形成一熱場,藉此將該原料由固體昇華為氣體分子;以及步驟5:控制成長室內的溫度、熱場、氣氛及壓力,使該氣體分子傳送並沉積於該晶種,藉此形成一光子晶體。
IPC國際分類號:
B82Y002000