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::: 可授權專利

氫電漿結晶退火系統及其方法

創作型式：
發明
專利證號：
TWI587399
發明人：
李人傑、吳典黻、陳燦桐、吳宗達、沈昌宏
國別：
中華民國
獲證日期：
2015/12/10
專利摘要：
本發明係提出一種氫電漿結晶退火系統及其方法，係包括一硒蒸氣產生單元、一氫與惰性氣體產生單元、一電漿產生單元、一淋頭單元、一基板承載輸送單元以及一加熱單元，該氫與惰性氣體產生單元係將氫與惰性氣體輸入該硒蒸氣產生單元內，使氫與惰性氣體與該硒蒸氣產生單元內之硒蒸氣混合形成第一混合硒蒸氣，將該第一混合硒蒸氣輸入該電漿產生單元，經該電漿產生單元將硒解離後形成第二混合硒蒸氣，該第二混合硒蒸氣再透過該淋頭單元均勻噴灑於該基板承載輸送單元所承載、已加熱之基板上。
IPC國際分類號：
C23C001446