專利摘要：
一種熱漂移精密量測校正及補償之裝置，包括：一三軸平移台，其包含一X軸平移台、一Y軸平移台及一Z軸平移台，該X軸平移台、Y軸平移台及Z軸平移台相互垂直設置；一定位基座單元，係用來提供定位座標，其包含一X軸定位基座、一Y-Z軸定位基座，該X軸定位基座、Y-Z軸定位基座相互垂直設置；一物件單元，設置於該X軸平移台上，係用來固定物件，其包含有二個光斑影像讀取頭；一加工單元，設置於該Z軸平移台上，係用來加工物件，其包含有二個光斑影像讀取頭。藉此，上述裝置具有熱漂移精密量測校正及補償的功能，可避免因熱膨脹效應影響高精密加工裝置的加工精密度。