*

::: 可授權專利

一種連續式成長大面積石墨烯透明導電膜之裝置

創作型式：
新型
專利證號：
TWM541472
發明人：
洪悟清、張欽亮
國別：
中華民國
獲證日期：
2016/12/20
專利摘要：
本創作係為一種連續式成長大面積石墨烯透明導電膜之裝置，包括：一加熱單元，其係用以加熱基板；一進料單元，其係用於將捲繞型態基材傳輸為平板型態基材，其中該基材自該進料單元傳輸至該加熱單元；一收料單元，其係用於將該平板型態基材傳輸為捲繞型態基材；一氣氛單元，其係用以控制通入氣體流量比例；一電漿單元，其係用以電漿化氣體，其中碳源氣體自該氣氛單元經過該電漿單元至該加熱單元。藉此，當平板型態基材經過加熱單元，即可在平板型態基材成長連續式大面積石墨烯透明導電膜。
IPC國際分類號：
C23C001456