專利摘要：
一種結合電子束與區域熔煉的真空精煉爐裝置，包括：一精煉爐本體；一第一真空腔體；一電子束單元，設置於該第一真空腔體內上方區域，係用以提供電子束；一坩堝，設置於該電子束單元下方；一第二真空腔體，設置於該第一真空腔體下方區域，利用一真空閥門管控與該第一真空腔體連結的通道；一區域熔煉熱源，設置於該第二真空腔體內上方區域，係用以提供熱源；一拉錠載台，設置於該坩堝下方，以上下移動方式通過第一真空腔體與第二真空腔體連結的通道。藉此，可將一次精煉後的晶棒再以區域熔煉的方式，分離雜質於柱錠頂端，以得到高品質難熔金屬的純化材料。