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::: 可授權專利

流體均佈裝置

創作型式：
發明
專利證號：
TWI623052
發明人：
林銘俊、李人傑、潘文玨、葉秀蓉
國別：
中華民國
獲證日期：
2016/12/02
專利摘要：
本發明係提供一種流體均佈裝置，係在長管型流體承載單元外套設一可旋轉之套管，利用該套管旋轉塗佈結合基板往復移動之二維方向控制，達到兩軸之線性均勻化所構成之大面積均勻塗佈。
IPC國際分類號：
B05C001102