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::: 可授權專利

卷軸式大氣電漿鍍膜及硒化整合系統

創作型式：
新型
專利證號：
TWM543466
發明人：
闕郁倫、潘文玨、李人傑、林銘俊、楊智超
國別：
中華民國
獲證日期：
2016/12/16
專利摘要：
本創作係提供一種用於CIGS太陽電池製程之卷軸式大氣電漿鍍膜及硒化之整合系統，係以卷軸式(Roll to Roll,R2R)輸送單元輸送軟性基板，本創作之卷軸式大氣電漿鍍膜及硒化整合系統可對該軟性基板進行鍍硒以及加氫硒化之整合製程，相較於前案技術，本創作具有生產效率高、硒化效能佳之優點。
IPC國際分類號：
H01L003118