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::: 可授權專利

一種應用於濺鍍靶槍上之加熱載台裝置

創作型式：
發明
專利證號：
TWI641712
發明人：
林昭宇、薄慧雲、王錫九、陳適範、魏肇男、廖健鴻
國別：
中華民國
獲證日期：
2017/12/04
專利摘要：
一種應用於濺鍍靶槍上之加熱載台裝置，包括：一加熱載台，係用以加熱濺鍍靶材，以控制濺鍍靶材溫度；一磁力元件，係用以產生磁場；一隔熱元件，設置於該加熱載台與磁力元件間；一冷卻系統，係用以冷卻該磁力元件；藉此，利用此應用於濺鍍靶槍上之加熱載台裝置，可降低靶材內的材料鍵結強度，降低濺鍍產物的粒子大小，成長出高品質的均勻薄膜。
IPC國際分類號：
C23C001435