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::: 可授權專利

一種用於生長特定形狀碳化物之裝置

創作型式：
發明
專利證號：
TWI675946
發明人：
虞邦英、陳學儀、馬代良、柯政榮
國別：
中華民國
獲證日期：
2017/12/18
專利摘要：
一種用於生長特定形狀碳化物之裝置，包括：一坩堝；一料源區，用以放置料源；一沉積區，用以成長晶體；一氣體溫度梯度控制區，其包含一溫度梯度；一加熱元件，係用以加熱該坩堝；一氣流沉積載具，設置於沉積區，該氣流沉積載具係由特定形狀重複排列所組成。藉此，利用氣流沉積載具，可有效量控制碳化物形狀及尺寸並提高生成效率。
IPC國際分類號：
C23C001406