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::: 可授權專利

單片式玻璃基板之硒硫化製程設備

創作型式：
發明
專利證號：
TWI599067
發明人：
潘文玨、林銘俊、李人傑、韋士珊、吳典黻、陳燦桐、王鎰興
國別：
中華民國
獲證日期：
2015/11/20
專利摘要：
本案係揭露一種單片式玻璃基板之硒硫化製程設備，透過二個腔體分別對玻璃基板快速加熱及硒/硫化，一方面可以避免該玻璃基板長時間處於軟化點之上之持溫溫度，也可以依製程之需求提高薄膜硒/硫化溫度以降低持溫硒/硫化的時間，達到節能省時之功效；藉由使該玻璃基板於在該等腔體中來回往復運動，以達到該玻璃基板各處的溫度更為均勻；且在進行硒/硫化作業時能使硒/硫化氣體更均勻的分佈於該玻璃基板；再者，回收之液態硒/硫及惰性氣體可再次利用，進而降低材料成本。
IPC國際分類號：
H01L003118