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::: 可授權專利

整合式快速硒硫化製程設備

創作型式：
發明
專利證號：
TWI617684
發明人：
潘文玨、王鎰興、林銘俊、李人傑、吳典黻、韋士珊、陳燦桐
國別：
中華民國
獲證日期：
2016/10/07
專利摘要：
本發明之整合式快速硒硫化製程設備藉由三個腔體分別對玻璃基板快速加熱、硒化及硫化，一方面可以避免該玻璃基板長時間處於軟化點之上之持溫溫度，也可以依製程之需求提高薄膜之硒/硫化溫度，以降低持溫硒/硫化所需的時間，達到節能省時之功效；藉由使該玻璃基板於在該等腔體中來回往復運動，以達到該玻璃基板各處的溫度更為均勻；再者，回收之液態硒/硫及惰性氣體可再次利用，進而降低材料成本。
IPC國際分類號：
C23C001406