*

::: 可授權專利

多震動源研磨腔體

創作型式:
發明
專利證號:
TWI716207
發明人:
任國光、劉明瑋、陳志鵬、林柏伸
國別:
中華民國
獲證日期:
2019/11/27
專利摘要:
本發明係提供一種多震動源研磨腔體,係於研磨腔體內加入多個超音波震動源,多震動源可達成控制介質巨觀的流(移)動方向,有利震動介質進入待處理件之細微特徵結構,並使磨料自身產生微幅震動,增加磨料與待磨工件研磨效能。
IPC國際分類號:
B02C001918