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::: 可授權專利

多維震動研磨腔體

創作型式:
發明
專利證號:
TWI727524
發明人:
林柏伸、任國光、陳志鵬、劉明瑋
國別:
中華民國
獲證日期:
2019/11/27
專利摘要:
本發明係提供一種多維震動研磨腔體,透過多維超音波震動源的振幅功率以及頻率控制,使震動介質在保有原先微小震動的特性時,可在研磨液體介質所在的腔體內形成更多方向/維度的巨觀流(移)動現象,增進研磨效率。
IPC國際分類號:
B02C001918