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::: 可授權專利

氮化鋁陶瓷基板表面改質的方法

創作型式：
發明
專利證號：
TWI698553
發明人：
黃宏庭、郭養國、吳俊德
國別：
中華民國
獲證日期：
2019/10/15
專利摘要：
本發明為一種氮化鋁陶瓷基板表面改質的方法，採用濺鍍與有機物化學氣相沉積法(MOCVD)製程進行多晶氮化鋁陶瓷基板之表面改質。藉此，以MOCVD的方式分兩階段溫度進行磊晶成長氮化鋁層，可使多晶相氮化鋁陶瓷基板之表面形成類單晶相之氮化鋁材料結晶相，並降低多晶相氮化鋁陶瓷基板之表面粗糙度。
IPC國際分類號：
C04B0035581