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::: 可授權專利

含鋁氮化物電晶體結構

創作型式：
發明
專利證號：
TWI716230
發明人：
張國仁、陳志典、劉冠顯、林家慶
國別：
中華民國
獲證日期：
2019/12/20
專利摘要：
本發明揭示一種含鋁氮化物電晶體結構及其製作方法，藉由在含鋁氮化物電晶體結構中插入一層較低能隙之二元氮化物中間層，進一步改善二維電子氣通道之片載子濃度，來達到提升含鋁氮化物電晶體性能之功效。
IPC國際分類號：
H01L0021338