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::: 可授權專利

一種在多晶氮化鋁基板作高深寬比圖案的方法

創作型式：
發明
專利證號：
JP6420295
發明人：
林嘉鼎、呂理煌、尤逸玄、呂忠諺
國別：
日本
獲證日期：
2018/10/19
專利摘要：
#N/A
IPC國際分類號：
#N/A