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::: 可授權專利

一種均勻碳化矽晶體製備裝置

創作型式：
發明
專利證號：
JP6952098
發明人：
林柏丞、陳學儀、戴嘉宏、柯政榮、虞邦英、郭志偉、馬代良
國別：
日本
獲證日期：
2021/09/29
專利摘要：
#N/A
IPC國際分類號：
#N/A