簡介:
利用RTP加熱及硒化CIGS薄層以提高產能，滾輪中空並置入加熱燈組形成熱滾輪以均勻滾輪與基板接觸之熱應力，混合高溫硒或硫蒸氣以及運載惰性氣體於大面積之玻璃基板上均勻分佈，穩定之層流模式連續均勻的分佈於反復運動之玻璃基板上。
技術特性:
本計畫配合業界二階段快速硒化之需求，投入建立自主化之大面積RTP硒化/硫化製程設備開發，未來可以搭配推升相關CIGS電池低成本及高產能之商品化競爭力。開發大面積快速熱處理硒化/硫化技術、大面積熱均勻技術、硒/硫氣氛腔體CIGS化合及腐蝕防治技術、溫度分佈參數製程及其精密控制技術、玻璃基板及其薄膜熱應力分析及製程參數調控技術，以提升國內設備業暨太陽能產業競爭力。
應用範圍:
提供產業界量產快速硒/硫化製程設備系統，以熱裂解硒/硫氣氛取代具毒性之H2Se高溫爐硒/硫化製程及設備技術提升國內業界快速CIGS硒/硫化自主技術能量。
產業價值:
以單片式之快速硒硫化技術取代多片式高溫爐H2Se硒化技術，提高產率、減少能源消耗、降低毒性物質對環境及工安之衝擊。
以單片式高活性硒氣氛下進型快速硒化，以每片10分鐘為目標將可較高溫爐硒化降低至1/3的能源消耗。
