::: 科技專案
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::: 技術處科專

可移轉技術

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民國111年
民國112年
民國113年
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【年度】104 年研發成果
【科專】 關鍵技術科專
【領域】 機電運輸
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年度

104
計畫名稱 大面積RTP硒／硫化製程技術暨設備自主開發計畫
執行單位 飛彈火箭研究所
技術名稱軟性太陽能電池光吸收層之製程設備及其製造方法
技術現況敘述整合蒸鍍機台創新技術設計，包含減熱模組、主動輪驅動等速以及放收料提供張力控制技術、放收料隔絕硒蒸氣影響、三階段蒸鍍CIGS佈置及製程程序、真空循邊技術、全系統模組化設計。開發線性蒸鍍模組，包含可高溫裂解硒之蒸氣模組、硒汙染防治cold trap設計、金屬線性蒸鍍模組等；精進蒸鍍模組設計研製，並整合至蒸鍍模組腔體中。、
技術規格30cm捲軸三階段CIGS線性蒸鍍製程設備系統規格，包括：(1)運轉測試：全機真空-操作真空 5×10-6 torr以下，製程真空 10-4 torr以下；基板加熱溫度550℃±1%；尋邊控制 (±0.5cm )；捲軸速度控制 20±1cm。(2)銅銦鎵硒三階鍍蒸鍍化合測試：維持銅銦鎵硒之溫度穩定性Cu溫度可達 1500℃ ±1℃、In 溫度可達1130℃ ±1℃、Ga 溫度可達1120℃ ±1℃；硒蒸氣外部加熱導入腔體內溫度全程不低於350℃。
技術成熟度試量產
技術可應用範圍在光電、綠能、軟性電子等產業相關研究領域。
潛力預估具備太陽能電池光吸收層之製程設備及其製造方法。
所需軟硬體設備熱流場分析軟體。
需具備之專業人才CIGS製程、精密溫度、精密真空高溫轉速控制、硒汙染控制。
聯絡人員潘文玨
電子信箱sp718982@tpts5.seed.net.tw
電話03-4712201#352013
傳真03-4713318
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