::: 科技專案
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::: 技術處科專

可移轉技術

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民國111年
民國112年
民國113年
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【年度】98 年研發成果
【科專】 關鍵技術科專
【領域】 生醫材化
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年度

98
計畫名稱 奈米材料及製程技術發展計畫
執行單位 化學研究所
技術名稱半導體與光電製程有害氣體濾除設備研製技術
技術現況敘述產品可用於半導體業各種製程氣體的消除及監控，特別是蝕刻與薄膜製程所產生的廢酸性氣體效果更好、
技術規格完成多種氣體處理與監控設備
技術成熟度
技術可應用範圍可針對多種有害化學氣體進行消除及監測分析。
潛力預估適用於處理擴散製程所產生之劇毒性氣體，並進一步擴展至化工產業所產生毒性氣體的處理，處理技術不必仰賴、受制於國外廠商
所需軟硬體設備反應槽、儲槽、攪拌設備。
需具備之專業人才化工及化學專業人員
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