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專利名稱 超高真空基材輸送機械手臂ROBOTIC ARM FOR TRANSPORTING SUBSTRATE IN ULTRAHIGH VACUUM
專利證號 I367812
國別 中華民國
獲證日期 20120711
專利摘要 本發明提供一種超高真空基材輸送機械手臂，包含承載模組及驅動模組。驅動模組包含磁力聯軸器、第一傳輸模組、第二傳輸模組及第三傳輸模組。磁力聯軸器包含內軸及外軸。第一傳輸模組用以帶動磁力聯軸器之第一主動單元，致使內軸之第一從動單元根據磁力變化轉動。第二傳輸模組用以帶動磁力聯軸器之第二主動單元，致使外軸之第二從動單元根據磁力變化轉動。第三傳輸模組用以帶動磁力聯軸器和承載模組垂直移動。當內軸及外軸分別被第一傳輸模組及第二傳輸模組帶動而轉動，致使驅動模組帶動承載模組執行轉動或伸展。

IPC國際分類號

B25J-009/08(2006.01);B25J-009/10(2006.01)