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專利名稱 微型加速度儀之製造方法
專利證號 I363872
國別 中華民國
獲證日期 20120511
專利摘要 本發明係一種微型加速度儀之製造方法，其利用三層結構製作微型加速度儀，三層結構分別為第一玻璃晶圓、絕緣層上矽晶圓以及第二玻璃晶圓。該方法係將絕緣層上矽晶圓設置於第一玻璃晶圓上之後，將微型振動結構設置於絕緣層上矽晶圓上；設置感測電極與導線第二玻璃晶圓上，然後將第二玻璃晶圓設置於絕緣層上矽晶圓上，以使感測電極與微型振動結構之間形成電容；最後封裝第一玻璃晶圓、絕緣層上矽晶圓與第二玻璃晶圓，以一次完成封裝而製成微型加速度儀。

IPC國際分類號

G01P-015/08(2006.01)