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專利名稱 熱處理裝置與熱處理製程之調整方法THERMAL TREATMENT APPARATUS AND TUNING TECHNOLOGY FOR THERMAL TREATMENT PROCESS
專利證號 I240333
國別 中華民國
獲證日期 20050921
專利摘要 一種熱處理製程之調整方法，包括下列數個步驟。首先，將一加熱燈及其反射罩配置於一晶圓上，以量測並調整單一之加熱燈對於晶圓之熱通量分佈。之後，將多個加熱燈所組成之一加熱燈組配置於一晶圓上，其中這些加熱燈係以軸對稱之多個圈環的陣列排列。接著，調整加熱燈組與晶圓之間的位置，使得加熱燈組之陣列中心的軸線與晶圓之中心的軸線之間具有水平之一偏移向量，並調整這些加熱燈之加熱功率。之後，讓晶圓與加熱燈組沿著平行晶圓之中心軸線作相對旋轉，以接收來自加熱燈組之均勻的熱通量。

IPC國際分類號

H01L-021/324(2006.01);(IPC 1-7) : H01L-021/324