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專利名稱 矽晶式雙慣性感測器
專利證號 206239
國別 中華民國
獲證日期 20040621
專利摘要 本發明係有關於一種以(110)矽晶片製作之雙慣性感測器，其包含以矽晶片製作之至少一個慣性質量塊，各質量塊以一組感測樑銜接於其內框架，使質量塊可沿垂直於晶片表面方向(z-軸向)運動，各內框架以一組驅動樑銜接於外框架或固定錨，使內框架可沿平行於矽晶片表面之一方向(y-軸向)運動，各內框架以一組驅動器使其沿y-軸向振動，帶動其質量塊亦沿y-軸向振動，若沿X-軸向輸入一角速度，則將產生一柯氏力使各質量塊沿z-軸向振動；若沿z-軸向亦輸入一加速度，其慣性力亦將使質量塊產生一位移；經由信號處理技術可分離出角速度及加速度信號。利用(110)矽晶片之垂直深蝕刻特性製作之驅動樑，可精確控制驅動軸共振頻率，提昇製程成功率及角速度感測性能。五、(一)、本案代表圖為：第 三 圖(二)、本案代表圖之元件代表符號簡單說明：2外框架 3慣性質量塊 4彈性感測支撐樑5內框架 51、52內框架5之二對邊，亦為驅動器本體6彈性驅動支撐樑81、82玻璃板上驅動器之長形電極板9玻璃板上之感測器電極板、及其接線板11(110)矽晶片

IPC國際分類號

G01P-015/125(2006.01);G01C-019/56(2012.01);(IPC 1-7) : G01P-015/125;G01C-019/56