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專利名稱 多軸向固態加速儀
專利證號 206135
國別 中華民國
獲證日期 20040621
專利摘要 本發明係有關於一種以微機械技術製作的多軸向固態加速儀，其主結構係以一具導電性材料製作而成，包含至少一慣性質量塊，各以數個感測樑懸吊於固定錨，另包含二片平板分別置於主結構之二面，並與固定錨結合在一起；感測樑組使各質量塊可沿平行於及垂直於平板平面運動；質量塊之表面各含數個垂直於平面內第一、第二軸向之長形凹槽、及無長形凹槽區域；各平板對應各長形凹槽之表面，含有兩組感測電極組，各含數個平行於長形凹槽之長形電極，兩組長形電極且相交錯，另對應無凹槽區域之表面亦各有電極板，各組電極板與質量塊表面各形成各軸向感測電容器；各軸向加速度使質量塊沿對應之軸向產生位移，其對應之感測電容器之電容值將改變。

IPC國際分類號

G01P-015/125(2006.01);G01C-019/56(2012.01);H01L-029/84(2006.01);(IPC 1-7) : G01P-015/125;G01C-019/56;H01L-029/84