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專利名稱 Z軸向固態陀螺儀及三軸向慣性量測儀
專利證號 206136
國別 中華民國
獲證日期 20040621
專利摘要 本發明係有關於一種感測軸向垂直於結構表面(z軸向)之微型固態陀螺儀，同時兼具一軸向加速儀功能，其結構係以具導電性材料製作而成，包含兩組質量塊及驅動器本體，並以彈性樑將其懸吊於兩片平板之間；驅動器本體及質量塊兩表面各含數個分別垂直於第一輪向及第二軸向之長形凹槽，各與平板上對應之長形電極形成驅動電容器及感測電容器；驅動器使二質量塊各沿第一軸向反向振動，若沿z軸輸入一角速度，則柯氏力將使二質量塊沿第二軸向反向振動，若沿第二軸向輸入一加速度，則慣性力將使二質量塊沿第二軸向同向位移，二者均使感測電容值改變。兩個z軸向陀螺儀及兩個平面內軸向之陀螺儀可製作於同一晶片上，形成完整的三軸向慣性量測儀。

IPC國際分類號

G01P-015/125(2006.01);G01C-019/56(2012.01);H01L-029/84(2006.01);(IPC 1-7) : G01P-015/125;G01C-019/56;H01L-029/84