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專利名稱 角速率感測裝置之製造方法FABRICATING METHOD OF ANGULAR RATE SENDING DEVICE
專利證號 I266055
國別 中華民國
獲證日期 20061111
專利摘要 一種角速率感測裝置之製造方法，包括有提供一絕緣層上矽晶圓、一第一玻璃晶圓、與一第二玻璃晶圓；於第一玻璃晶圓上形成複數個凹槽；接合絕緣層上矽晶圓與第一玻璃晶圓；蝕刻絕緣層上矽晶圓之載板與絕緣層，留下結構晶圓；於此結構晶圓上，形成一結構層，其中結構層包括有一多質量塊振動體與複數個柔性支撐部，複數個柔性支撐部連接於多質量塊振動體並支撐振動體於凹槽中；於第二玻璃晶圓上形成複數個平面電極以及相對應之電路；以及接合第二玻璃晶圓與接合有第一玻璃晶圓之結構層。

IPC國際分類號

G01P-003/14(2006.01);G01C-019/56(2012.01);(IPC 1-7) : G01P-003/14;G01C-019/56