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專利名稱 微型角速率感測裝置
專利證號 I245902
國別 中華民國
獲證日期 20051221
專利摘要 一種微型角速率感測裝置，係由一多質量塊振動體、複數個柔性支撐部、複數個電極所組成。其中多質量塊振動體，係設置於一第一基座中，具有複數個質量塊連接於多質量塊振動體之環體。複數個柔性支撐部連接於多質量塊振動體並支撐該振動體於第一基座上，以使該振動體浮懸於第一基座中。複數個電極係藉由驅動與控制柔性支撐部振動達成該振動體驅動模態之振型控制。複數個平面電極係與質量塊相對應地配置於一第二基座上，藉由平面電極與質量塊之間的電容變化量以感測質量塊相對於平面電極之移動量。根據本發明之裝置，其具有較高質量之共振結構，可以產生較大之科氏力，並且增加感測面積，故可大幅提高感測信號強度與訊雜比。此外，更可以減低對於高深寬比製程技術之要求，降低製程成本，提高製程良率。

IPC國際分類號

G01P-009/04(2012.01);G01C-019/56(2012.01);(IPC 1-7) : G01P-009/04;G01C-019/56