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專利名稱 真空晶圓機械手臂
專利證號 117247
國別 中華民國
獲證日期 20000701
專利摘要 本項發明為應用於高真空環境下，用以傳送晶圓至集束型設備之各反應體，其發明重點與特色如下： l.採用單一伺服馬達配合電磁煞車與電離合器，可驅動控制機械手臂完成旋轉與伸展等兩個自由度的運動。2.機械手臂可做360度之迴轉，可依據運動指令做最小角度之旋轉，快速到達定位，可有效提高效能。3.具有升降軸之運動功能，可直接將晶圓拾起或是放下，可簡化其他腔體之設計。

IPC國際分類號

B25J-009/04(2006.01);B65G-049/07(2006.01);H01L-021/677(2006.01);(IPC 1-7) : B25J-009/04;B65G-049/07